







反转磁控溅射刻蚀在一般的磁控放电设备中,接地钢带作为阴极(图6。在带材将要镀膜的一面布置一个空心阳极,在基底背面布置一个磁场系统。这种设备在带材表面产生强度约为25mt的磁场。磁控放电直接在金属化基底表面点火。利用离子冲击获得的刻蚀率可以和从磁控源获得的溅射率相比。为了---稳定的运行,处理镀钛哪里有,和用于磁控技术中相似的中频电源用于溅射刻蚀工作站。电流密度可以达到约10ma/cm^2。在钢带处理的特殊情况下,需要考虑磁场为对带材运行的影响和钢带附近的磁场的屏蔽。稳定的钢带通过量利用辊子对带的引导来获得。通过利用由稀土磁体组成的磁场系统,可以在厚度为0.9的钢带表面保持稳定的磁控放电。可以观察到对钢带的刻蚀率达到15~20nm/s。
一次连续实验在这条试生产线上使用镀锌钢带进行的,过程包括湿法学清洁和反转磁控溅射刻蚀,接着是利用喷射蒸发技术在镀锌钢板上沉积薄的镁涂层,然后进行热处理。生产线的速率在6-30m/min的范围内。所得到的镀膜钢带具有非常类似的外观。在图10中显示了未着漆样品的加速腐蚀试验的结果。和镀锌的相关材料相比的------于的腐蚀抗性与先前在小一型实验设备的结果相符合。因此,把参数从实验室程序转移到工业规模镀膜设备已经成功得到论证了。
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