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反转磁控溅射刻蚀在一般的磁控放电设备中,接地钢带作为阴极(图6。在带材将要镀膜的一面布置一个空心阳极,项城不锈钢镀钛,在基底背面布置一个磁场系统。这种设备在带材表面产生强度约为25mt的磁场。磁控放电直接在金属化基底表面点火。利用离子冲击获得的刻蚀率可以和从磁控源获得的溅射率相比。为了---稳定的运行,和用于磁控技术中相似的中频电源用于溅射刻蚀工作站。电流密度可以达到约10ma/cm^2。在钢带处理的特殊情况下,需要考虑磁场为对带材运行的影响和钢带附近的磁场的屏蔽。稳定的钢带通过量利用辊子对带的引导来获得。通过利用由稀土磁体组成的磁场系统,可以在厚度为0.9的钢带表面保持稳定的磁控放电。可以观察到对钢带的刻蚀率达到15~20nm/s。
本文基本包括两个部分。在一部分中,不锈钢镀钛公司,将描述一种利用pvd研制的高度抗腐蚀的锌合金膜的新型的联合方法。在第二部分中,将---把这种方法成功升级到一条具有镀膜速率达到60m/min和带宽为300的连续试验型生产线的情况。这种基础工作会认为是升级到工业前的一个中间步骤。发展中的新型镀锌合金镀膜的联合方法pvd为新型钢带镀膜系统的有意义的发展方法提供了可能。---是利用电子束蒸发和热喷射蒸发可以获得定制的几μm/s的---的沉积速率。因此,这些工艺对于连续钢带镀膜在理论上是可行的。与传统镀膜工艺相比,这种pvd工艺具有关于所应用的镀膜材料的高度灵活性和高度的环境兼容性的优点。
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