金常来放心----金属表面镀钛加工

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    2024-4-28

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射频溅射

采用射频电源代替直流电源,在靶和衬底间施加高频电压,溅射时,靶极会产生自偏压效应(即靶极会自动处于负电位状态),使绝缘靶的溅射得到维持。常用的频率约为13.56兆赫。

优点可以溅射所有材料,金属表面镀钛加工,包括导体和绝缘体溅射可---生产


磁控溅射

磁控溅射通过在靶阴极表面引入正交电磁场,把二次电子束缚在靶表面,成螺旋状运行来增强电离效率,增加离子密度和能量以增加溅射率。电源方面可同时配备直流和射频两种。







pvd (physical vapor deition) 即物理气相沉积,分为:真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。我们通常所说的pvd镀膜 ,指的就是真空离子镀膜;通常说的ncvm镀膜,就是指真空蒸发镀膜和真空溅射镀。真空蒸镀基本原理:在真空条件下,使金属、金属合金等蒸发,然后沉积在基体表面上,蒸发的方法常用电阻加热,安徽金属表面镀钛加工,电子束轰击镀料,使蒸发成气相,金属表面镀钛加工选,然后沉积在基体表面,历,真空蒸镀是pvd法中使用早的技术。



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