







靶材承受的功率密度是有限的.靶面温度过高会导致靶材熔化或引起弧光放电.在直接水冷的情况下,金属靶材的靶功率密度允许值为10~30w/cm2.根据选定的靶电压和允许的靶功率密度,即可确定靶电流密度.
降低ar压强有利于提高镀膜速率,金属不锈钢镀钛哪里有,还有利于提高膜层结合力和膜层致密度.磁控溅射的ar压强通常选为0.5pa,气体放电的阻抗随ar压强的降低而升高.磁控溅射时,可以适当调节ar压强,

较为成熟的 pvd 方法主要有多弧镀与磁控溅射镀两种方式。多弧镀设备结构简单,容易操作。它的离子蒸发源靠电焊机电源供电即可工作,其引弧的过程也与电焊类似,具体地说,不锈钢镀钛哪里有,在一定工艺气压下,引弧针与蒸发离子源短暂接触,断开,使气体放电。由于多弧镀的成因主要是借助于不断移动的弧斑,在蒸发源表面上连续形成熔池,使金属蒸发后,河南不锈钢镀钛哪里有,沉积在基体上而得到薄膜层的,与磁控溅射相比,它不但有靶材利用率高,更具有金属离子离化率高,薄膜与基体之间结合力强的优点。

真空镀钛是指在真空的环境下,采用弧光放电,把阴极钛靶作为蒸发源,通过钛靶与阳极机体之间的弧光放电,使钛靶材蒸发并形成离子体,产生的离子体高速向产品上运动,在产品表面进行沉积,形成了钛膜层。要想镀出坚固的钛层,首先要有好的设备。因为在镀膜过程中,真空不锈钢镀钛哪里有,真空系统必需要工作稳定,炉体保压要好,如果在镀膜过程中有杂气掺入,颜色就会不理想,---的还会脱钛。

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