







溅射技术:
溅射技术按产生等离子体的方式可分为:
a. 利用直流辉光放电的二极溅射;
b. 利用热丝弧光放电的三极溅射;
c. 利用射频放电的射频溅射;
d. 利用封闭跑道磁场控制辉光放电的磁控溅射.
2 磁控溅射阴极结构:
目前工业用磁控溅射装置主要是采用矩形平面磁控溅射阴极(图a),一般使用的靶材尺寸有两种规格: vt机:长×宽×厚(450.5×120×6)mm; zck机: 460×100×6.圆柱形磁控溅射阴极也逐步运用到生产当中(图b),金属镀钛选,两者相比,装饰镀钛选,平面靶材的利用率只有20~30%,即利用率低.

氮化铬涂层 (crn)
crn涂层具有---的抗粘结性,抗腐蚀性,耐磨性。
用途:加工铝合金,红铜的刀具,注塑模具,零件(---是有润滑油浸泡)
5)dlc
dlc涂层的组成为tin+ticn+dlc结构。具有摩擦系数较低,
耐磨损,膜层应力小好等优点
用途:润滑涂层,成型模具,铝合金等粘结性强材料冲压模具。
6)zrn
zrn不含ti和cr的单成膜,有较高的耐热性,涂层颜色艳丽,处理镀钛选,在加工铝钛合金时可有效减少切削瘤

蒸发源接阳极,工件接阴极,当通以三至五千伏高压直流电以后,蒸发源与工件之间产生辉光放电。由于真空罩内充有惰性气,在放电电场作用下部分气被电离,从而在阴极工件周围形成一等离子暗区。带正电荷的离子受阴极负高压的吸引,猛烈地轰击工件表面,致使工件表层粒子和脏物被轰溅抛出,从而使工件待镀表面得到了充分的离子轰击清洗。随后,漯河镀钛选,接通蒸发源交流电源,蒸发料粒子熔化蒸发,进入辉光放电区并被电离。

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