







增强型磁控阴极弧:阴极弧技术是在真空条件下,通过低电压和高电流将靶材离化成离子状态,从而完成薄膜材料的沉积。增强型磁控阴极弧利用电磁场的共同作用,将靶材表面的电弧加以有效地控制,使材料的离化率更高,薄膜性能优异。
过滤阴极弧:过滤阴极电弧(fca )配有的电磁过滤系统,真空不锈钢镀钛服务电话,可将离子源产生的等离子体中的宏观粒子、离子团过滤干净,经过磁过滤后沉积粒子的离化率为,并且可以过滤掉大颗粒, 因此制备的薄膜非常致密和平整光滑,周口不锈钢镀钛,具有抗腐蚀性能好,与机体的结合力很强。

其缺点是:
1)工艺比传统单色pvd的更为复杂,流程更为繁杂,不锈钢镀钛选,生产难度高;
2)生产良率低,大约为65~70%(传统单色pvd的生产良率一般为85~90%;
3)价格会比传统单色pvd的高50~60%;
4)因工艺和流程的影响,双色pvd生产---较多,受产品结构的影响较大,而传统单色pvd则几乎不受---
现代涂层设备(均匀加热技术、温度测量技术、非平衡磁控溅 射技术、辅助阳极技术、中频电源、脉冲技术) 现代涂层设备主要由真空室、真空获得部分、真空测量部分、电源供给部分、工艺气体输入系统、机械传动部分、加热及测温部件、离子蒸发或溅射源、水冷系统等部分组成。

靶材承受的功率密度是有限的.靶面温度过高会导致靶材熔化或引起弧光放电.在直接水冷的情况下,金属靶材的靶功率密度允许值为10~30w/cm2.根据选定的靶电压和允许的靶功率密度,即可确定靶电流密度.
降低ar压强有利于提高镀膜速率,还有利于提高膜层结合力和膜层致密度.磁控溅射的ar压强通常选为0.5pa,表面不锈钢镀钛电话,气体放电的阻抗随ar压强的降低而升高.磁控溅射时,可以适当调节ar压强,

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