







电弧蒸发镀膜
在高真空下通过两导电材料制成的电极之间产生电弧放电,利用电弧高温使电极材料蒸发。电弧源的形式有交流电弧放电、直流电弧放电和电子轰击电弧放电等形式。
优点薄膜纯度高造价低适用于具有一定导电性的难熔金属、石墨等
缺点
会飞溅出微米级的靶材料颗粒,影响薄膜
利用高频电磁场感应加热,使材料汽化蒸发在基片表面凝结成膜的技术。
其中热阴极电子蒸发离子镀,利用铜坩埚加热融化被镀金属材料,利用钽灯丝给工件加热、除气,利用电子增强离化率,处理镀钛公司,不但可以得到厚度 3~5μm的tin 涂层,而且其结合力、耐磨性均有---表现,甚至用打磨的方法都难以除去。但是这些设备都只适合于 tin涂层,或纯金属薄膜。对于多元涂层或复合涂层,家具镀钛公司,则力不从心,难以适应高硬度材料高速切 削以及模具应用多样性的要求。

电子束蒸发镀膜
利用高速电子束加热使材料汽化蒸发,在基片表面凝结成膜的技术。电子束热源的能量密度可达104-109w/cm2,商丘镀钛公司,可达到3000℃以上,可蒸发高熔点的金属或介电材料如钨、钼、锗、sio2、al2o3等。
电子束加热的蒸镀源有直型电子和e型电子两种(也有环行),电子束自源发出,用磁场线圈使电子束---和偏转,对膜料进行轰击和加热。

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